全自動晶圓檢查機

• 台灣製造
• AI自動對焦、自動光源、自動變倍
• 自動對位
• 各元素自動搜尋導正量測 (非原點軸向擺正)
• 連接自動上下料
• 晶圓卡匣連線

全自動晶圓檢查機

• 台灣製造
• AI自動對焦、自動光源、自動變倍
• 自動對位
• 各元素自動搜尋導正量測 (非原點軸向擺正)
• 連接自動上下料
• 晶圓卡匣連線



影像量測儀產品規格:

量測行程(X,Y,Z)

400*350*150mm

操作方式

AI智慧型程式控制

基座材質

精密花崗石

移動平台

精密花崗石

對焦方式
AI智慧型對焦(標配) 或 雷射對焦(選配)

傳動方式

滾珠螺桿&線性滑軌

移動控制

滑鼠移動控制  (選配:搖桿)

光學尺

0.1μm 

影像系統

高解析彩色攝影機

光源系統

智慧型自動光源

光學鏡頭

金相轉塔式光學系統   光學倍率:5X.10X.20X.50X.100X

量測軟體

AQ-6500 AUTO版影像量測軟體

電源

AC220V 單相 50/60Hz