全自動晶圓檢查機
量測行程(X,Y,Z)
400*350*150mm
操作方式
AI智慧型程式控制
基座材質
精密花崗石
移動平台
傳動方式
滾珠螺桿&線性滑軌
移動控制
滑鼠移動控制 (選配:搖桿)
光學尺
0.1μm
影像系統
高解析彩色攝影機
光源系統
智慧型自動光源
光學鏡頭
金相轉塔式光學系統 光學倍率:5X.10X.20X.50X.100X
量測軟體
AQ-6500 AUTO版影像量測軟體
電源
AC220V 單相 50/60Hz