原理：當一實體工件物在量測儀上進行量測，不論工件物擺放的角度及位置所量測的數據都應該一致。

方法：

1、取一實體工件物，高低差最好超過30mm(無須標準件)至於XY平台上。

2、量測高低端面的線，再將兩線組成距離，記錄此距離量測值。

3、旋轉工件物45度左右，再依據方法2動作，得到第2組量測值。

4、再旋轉工件物45度左右，再依據方法2動作，得到第3組量測值。

5、以此類推，每旋轉45度，做一次量測，最終會得到8組量測值。

箭頭端為低端，8個法向得到8組量測值。



6、量測完會得到8組量測值，理論上這8組量測值必須一樣，若8組數據都不一樣，代表XYZ垂直度有問題，而這8組數據只代表當下工件物高低差垂直度，不代表機台最大誤差，可以用推算方式算出機台最大誤差
例：被測物高低差是30mm，從8組量測值中取最大值減最小值(這裡假設為0.026mm)，若機台Z軸最大行程為150mm，那機台最大誤差大約0.13mm