一般解釋2D影像量測儀與2.5D影像量測儀的差異就是增加Z軸, 讓機台可增加量測高度、階差、平面度、功能, 然而這不是主要精隨,最主要的是彌補2D的量測誤差, 2D影像量測儀因沒有Z軸值所以只能演算出XY平面距離, 而2.5D影像量測儀有Z軸值所以可演算出XYZ距離,實際上XYZ距離才是正確值。